山東力冠微電子裝備

產(chǎn)品展示


MPCVD

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產(chǎn)品 新聞 下載

MPCVD設(shè)備


? 微波等離子化學(xué)氣相沉積技術(shù)(MPCVD) , 通過等離子增加前驅(qū)體的反應(yīng)速率,降低反應(yīng)溫度。適合制備面積大、均勻性好、純度高、結(jié)晶形態(tài)好的高質(zhì)量的金剛石單晶和多晶薄膜

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